金相顯微鏡是專(zhuān)門(mén)用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡鏡，它具有穩(wěn)定性好、成像清晰、分辨率高、視場(chǎng)大而平坦的特點(diǎn)。因其對(duì)被測(cè)物進(jìn)行既定性又定量地進(jìn)行分析，故對(duì)金相顯微鏡的校準(zhǔn)工作*。
關(guān)鍵詞：金相顯微鏡；物鏡場(chǎng)曲；物鏡放大倍數(shù)；示值誤差；校準(zhǔn)規(guī)范；測(cè)量不確定度。
金相顯微鏡是廣泛用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的測(cè)量?jī)x器。它可以測(cè)量金屬材料金相組織奧氏體的晶粒度級(jí)別、材料熱處理后滲碳層的厚度等。為了提高我國(guó)的材料研發(fā)制造水平，我們必須對(duì)金相顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)或檢定。金相顯微鏡主要分為光學(xué)式金相顯微鏡、數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、金相顯微鏡、圖像分析儀等。(以下統(tǒng)稱(chēng)金相顯微鏡)
1、 金相顯微鏡的溯源
由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類(lèi)型、結(jié)構(gòu)及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過(guò)不同的技術(shù)手段和方法，我們終可溯源到“單刻線樣板標(biāo)準(zhǔn)器組”和“0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺”標(biāo)準(zhǔn)器組。
2、 校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立
2.1、物鏡場(chǎng)曲
將一物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間，視場(chǎng)中心成像清晰，此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像清晰。觀察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差，其余物鏡以此類(lèi)推進(jìn)行校準(zhǔn)。
物鏡場(chǎng)曲誤差的指標(biāo)如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒(méi)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。觀察時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測(cè)是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類(lèi)推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
2.3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬(wàn)工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺(tái)，使分劃板的水平線與萬(wàn)工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位，按每20格測(cè)量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
2.4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像清晰時(shí)，測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
2.5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值
裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊；調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類(lèi)推進(jìn)行校準(zhǔn)。
