一、定量測(cè)定方法

　　1、重量法

　　對(duì)外形復(fù)雜但可用天平稱(chēng)量的小型物體的總體潔凈度的一種有效評(píng)價(jià)方法。取一定數(shù)目樣品，對(duì)其清洗前的質(zhì)量m1，清洗后的質(zhì)量m2和清洗后再用其它方法進(jìn)行*往污后的質(zhì)量m3進(jìn)行正確稱(chēng)量則對(duì)于單個(gè)樣品

　　污垢附著量=m1-m3;清洗污垢量=m1-m2;殘留污垢量=m2-m3

　　污垢往除率=(m1-m2)/(m1-m3)*100%

　　所求出樣品的污垢往除率及單位面積的污垢殘留是均勻值，據(jù)此即可判定出物體總體的潔凈程度。

　　2、吸光光度法

　　利用紫外線分光光度計(jì)丈量殘留污垢的方法，把清洗后的物體放在對(duì)污垢有強(qiáng)往除作用的清洗劑中，把清洗劑中溶解的污垢數(shù)目用紫外線吸收法進(jìn)行測(cè)定。這種方法正確度高，可用于測(cè)定殘留量小于0.01ug/cm2的物體。

　　3、接觸角法

　　把水滴球面與物體接觸點(diǎn)所作的球面切線與物體表面形成的夾角叫接觸角，接觸角的大小與物體表面的材料有關(guān)。并隨著表面光潔度和物質(zhì)性質(zhì)而發(fā)生改變。接觸角越小表明其受親油性污垢污染越輕，表面潔凈度越高。接觸角法只適合于測(cè)定平滑表面的潔凈度，對(duì)粗糙表面的物體不適用。

　　4、殘留離子濃度法

　　用純凈的乙醇—水清洗液(通過(guò)離子交換法等純化處理后，其電阻值在21uΩ以上)對(duì)洗凈后的半導(dǎo)體材料進(jìn)行浸泡處理，然后測(cè)定洗液的電導(dǎo)率，溶出的金屬離子越多，溶液的電導(dǎo)率越大。離子濃度與電導(dǎo)率之間存在正比關(guān)系，用這種方法可判定清洗的潔凈度。

　　二、定性評(píng)價(jià)方法

　　1、擦拭法

　　用干燥潔凈不起毛的布(如紗布)對(duì)物體表面擦拭，根據(jù)布臟的程度判定表面潔凈度。本法簡(jiǎn)便但不。

　　2、水滴法

　　是接觸角評(píng)價(jià)潔凈度的一種應(yīng)用。在一定的條件下，滴在表面上的水滴(一定體積)的直徑越大，接觸角越小，潔凈度越高。即把表面上形成的水滴直徑大小和外形，作為比較潔凈度的依據(jù)。

　　3、水膜法

　　把清洗后的物體浸泡在水里，使物體表面與水面成垂直，向上拉，離開(kāi)水面后如物體表面形成的水膜能均勻的占滿(mǎn)全部表面，則說(shuō)明潔凈度高，如表面有形不成水膜的，則說(shuō)明那里不夠潔凈。

　　4、水霧法

　　用噴霧器把均勻的微粒狀的水滴噴射到清洗后的干燥表面上，通過(guò)形成水滴的情況判定潔凈度，當(dāng)表面十分潔凈時(shí)，微粒狀水滴會(huì)在表面上均勻的潤(rùn)濕展展，而且干燥后凝霧水膜四周外形呈規(guī)則的圓形。

　　5、呼氣法

　　對(duì)著干燥的清洗對(duì)象表面呼氣，水蒸氣在表面上冷凝時(shí)會(huì)形成渾濁的霧斑，表面清潔時(shí)產(chǎn)生的霧斑是均勻的，反之則不均勻。當(dāng)表面十分平滑潔凈時(shí)，霧斑會(huì)在很短時(shí)間內(nèi)消失。